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上海真空泵厂是由上海第一真空泵厂和上海第二真空泵厂于1971年合并而成。坐落于青浦县白鹤镇。
上海第一真空泵厂的前身是上海永固机器厂,由裘玉如创办于民国23年,有职工40人。民国25年起,仿制德国进口的活塞真空泵,主要用于日用化工行业,成为中国第一家生产活塞真空泵的工厂。解放初期,生产活塞真空泵已有V3、V4、V5、V6等4种型号。1956年公私合营后,相继并入鑫泰机器厂等6家小厂。1966年,从市区迁到青浦白鹤,改名为上海第一真空泵厂。
上海第二真空泵厂的前身是上海申光机器厂,由侯文卿创办于民国36年,初期以修配纺织机械为主,有职工15人。民国37年,开始仿制美国定片油封真空泵,定名为101型真空泵,主要应用于医疗和仪器行业。解放初期,发展到101、202、303、707等4种型号。1956年公私合营后,相继并入天和机器厂等4家小厂。1966年,从市区迁到青浦白鹤镇,改名为上海第二真空泵厂。
60年代,试制成功国内第一台罗茨真空泵,并试制成蜗轮分子泵,把真空技术引向了高真空及超高真空水平。1970年,试制成溅射离子泵和弹道式钛泵等新型超高真空产品。80年代,设计出新颖的带旁通阀的罗茨泵和气体循环冷却罗茨泵,并且旋片泵又有了第4代A型产品。
上海真空泵厂产品有粗真空、低真空、高真空、超高真空获得设备和真空应用设备等5类、21个系列、101种规格型号,以及供配套的电源、电控设备和真空仪表。其中2XZ—4、2、0.5以及2XZ—2A/4A产品获上海市优质产品和机电部优质产品称号