半导体行业用的VDB是什么设备

半导体制程的每一步基本都要用到气体, 气体在进入机台前都要经过减压, 而且一个机台几路甚至是十几路气体. 往前端, 从气源到机台这一部分, 叫hook up, 二次配管, 里面也有很多. 再往前, 特气有气柜, 气柜里有减压器. 大宗气体有气站, 气站上也有。 原文链接：https://shuzhiren.com/post/71627.html