PECVD中如何使用三甲基铝

数智人2023-12-06产业百科82
采用载气的方法,将TMA(三甲基铝)饱和蒸汽带入反应腔。 原文链接://shuzhiren.com/post/60837.html
标签: 三甲基铝

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KevinMiller
2023-12-06 09:32:22

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