哪里有光学轮廓仪（干涉显微镜），用于测量表面形貌、轮廓或者三维粗糙度的，最好是taylor hobsion 的 CCI
taylor hobsion的大多是接触式的，操作麻烦。业界大量使用的是ZYGO的非接触式测量仪器。精度很高的，表面轮廓，波前差都可以测得。 原文链接：//shuzhiren.com/post/117072.html
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