冶炼多晶硅需要哪些材料
多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来,目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法,采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85%。大致过程:1-石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅;2-把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅同时形成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si);3-分解冷凝物SiНС13,SiC14,净化三氯氢硅;4-以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。 原文链接://shuzhiren.com/post/116390.html